超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
儀器名稱：超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
品牌: 日立
型號：SU8700
產地：日本
儀器介紹：
一.儀器特點：
1. 電磁混合透鏡，具有極高分辨能力：0.6nm@15kV;0.8nm@1kV；
2. 具有低至10V的超低加速電壓表征能力;
3. 無漏磁物鏡設計，具有多類成像探測器組合；
4. 具有自動對中功能的電子光學系統(tǒng)，可簡單獲取高質量圖像；
5. 可選批量樣品自動圖像采集功能。
二.主要用途：
超高分辨、高度自動化的熱場發(fā)射掃描電鏡，用于納米技術、半導體、電子器件、金屬、生命科學、新材料等領域。
